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产品展示
CU21超高纯减压器
CU21 系列单级减压器适用于非腐蚀性,腐蚀性,有毒气体。膜片和阀体的密封采用硬密封的设计,降低泄漏率,
同时提高了安全性和使用寿命。
订购指南产品描述

结构特点 Features
  • 316L 不锈钢母体
  • 膜片式硬密封,泄漏率低
  • 可采用面板安装和后座安装
  • 压力表标准连接: 1/4” FSR(M)
    可选:1/4” FSR (F)
  • 内部电解抛光
  • 高清洁的组装和包装将适用于高纯洁度的半导体产业
  • 使用寿命长
  • 100% 氦气测试


    材质 Materials

  • 母体:316L
  • 阀座:PCTFE*,Vespel®
  • 膜片:316L
  • 上盖:316


    功能特性 Functional Performance

  • 流量:Cv=0.14
  • 母体泄漏率:2x10-8 atm cc/sec He
  • 阀座泄漏率:4x10-8 atm cc/sec He
  • 设计验证压力:最大额定压力的 150%
  • 设计爆破压力:最大额定压力的 400%


    工作条件 Operating Conditions

  • 最大的入口压力:500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
  • 出口压力:
    0- 25 psi (1.7 bar) , 0-50 psi (3 bar),
    0-100 psi (7 bar), 0-250 psi (17 bar),
    0-500 psi (35 bar)
  • 温度: -40℃~74℃(-40℉~165℉)


    流道表面 Surface Finish

  • 标准:Ra 20μin
  • 可选:Ra 10μin


    内部容积 Internal Volume

  • 4.6 cc
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